無法在離線情況下精確測量超純水的電阻率/電導率。

電導率的計算公式如下：X 是電導率, F 是法拉第常數, Ci 是某種離子濃度， Zi 是離子的電荷數 ，Ui指離子的遷移能力。

X = FΣ CiZiui

 理論上，完全不含離子的超純水在25^oC時電導率為0.055μS/cm。 電阻率是電導率的倒數，為 18.2 MΩ.cm。

當超純水暴露在外界環境中時，會被外界環境污染。實驗室里的空氣中含有大量的離子，這些離子可以進入超純水。 另外，測量電導率所用到的儀器（燒杯，電阻率儀/探針）也會帶入離子污染物。正如電導率的計算公式中所示，任何離子的增加都會影響電導率值，因為電導率與離子的種類和其所帶電荷成正比。